潔凈室（區(qū)）環(huán)境檢測(cè)標(biāo)準(zhǔn)操作程序

1 目的：建立潔凈室（區(qū)）環(huán)境控制監(jiān)測(cè)標(biāo)準(zhǔn)操作程序。

2 范圍：適用于潔凈區(qū)（室）潔凈空氣控制指標(biāo)監(jiān)測(cè)標(biāo)準(zhǔn)操作。

3 責(zé)任者：質(zhì)量部、QA、QC人員、車間有關(guān)人員。

4 程序：

4.1潔凈空氣塵粒數(shù)監(jiān)測(cè)：

4.1.1潔凈空氣塵粒數(shù)的要求：水針、凍干粉針車間空氣潔凈度要求為10000級(jí)、100000級(jí)。10000級(jí)別的塵粒數(shù)要求為≥0.5ΜM的塵粒數(shù)不得高于350000個(gè)/M3；≥5ΜM的塵粒數(shù)不得高于2000個(gè)/M3.100000級(jí)別的塵粒數(shù)要求為≥0.5ΜM的塵粒數(shù)不得高于3500000個(gè)/M3；≥5ΜM的塵粒數(shù)不得高于20000個(gè)/M3。

4.1.2塵粒數(shù)檢測(cè)方法：

4.1.2.1采用塵粒計(jì)數(shù)儀測(cè)定，按潔凈室面積大小，限定的取樣點(diǎn)數(shù)按下表規(guī)定，每點(diǎn)取樣次數(shù)為3次。